缺陷密度Default Density（D0），表示单位面积的缺陷数D。

单位面积有M个部件，一个部件的平均失效率为：

一个面积为A的系统（芯片）良率：

Possion模型：

当M趋于无穷时，系统良率为possion模型。

Murphy模型：（D~对称三角分布）

大芯片或大系统possion模型预估良率过于悲观，因为不同缺陷之间可能存在相关性，因此缺陷D为一分布，良率应为对缺陷D分布的积分。D分布的均值为D0。当D服从对称三角分布时，系统良率为Murphy模型。

Seed模型：（D~指数分布）

当D服从指数分布时，系统良率为Seed模型。

Bose-Einstein模型：

缺陷集中在某一个关键mask layer时，良率为Bose-Einstein模型。

负二项模型：

当D服从伽马分布，良率为负二项模型。

参考资料：
yield modeling and analysis
https://fog.misty.com/perry/cod/references/yield_models.pdf
https://fog.misty.com/perry/cod/c1/notes_16.html